Systemy ultra wysokiej próżni

Krótki opis:

Kompletne zestawy ultrawysokiej próżni są szeroko stosowane w badaniach naukowych i produkcji w dziedzinie materiałoznawstwa, optyki, fizyki, eksperymentów kosmicznych i obróbki precyzyjnej.

1. Wskaźniki techniczne

1. Stopień próżni systemowej: najwyższy stopień próżni<2x10-8pa, and the vacuum degree is better than 6x10-8pa when the manipulator is driven by the magnetic rod.

2. Komora próżniowa: przyjąć sferyczną konstrukcję ze stali nierdzewnej, 316L, średnica wewnętrzna: 300 mm.

Szybkość wycieku systemu<1x10-7pPa·L/S. 3.

4. Komora próżniowa: konstrukcja ze stali nierdzewnej w kształcie UFO (UFO), 316L, wymiary zewnętrzne: 800x360mm.

5. Prosta komora: sferyczna konstrukcja ze stali nierdzewnej, 316L, rozmiar: średnica wewnętrzna SD300mm.

6. Instalacja gazowa: 6.1. Komora gaz-ciało stałe, niskotemperaturowa komora na podczerwień i ESEM mają wymagania dotyczące zasilania gazem, a ujednolicony system zasilania gazem (który może realizować konfigurację 3 rodzajów gazów) jest wymagany do realizacji dostarczania gazu do każdej komory reakcyjnej. Natężenie przepływu wlotowego może wynosić 0~50SC.6.2. Wszystkie zawory podłączone do komory próżniowej to ręczne zawory kątowe VAT o ultrawysokiej próżni.

7. Każdy podsystem przyjmuje niezależny system pompowania próżniowego, który nie koliduje ze sobą. Niezależną podstawkę podtrzymującą można w każdej chwili przesuwać i rozdzielać.

2. Skład wyposażenia

System ten jest systemem ultrawysokiej próżni o strukturze wielokomorowej. Sprzęt składa się głównie z prefabrykowanego systemu skarbów, systemu komory próżniowej UFO, systemu komory reakcji gaz-ciało stałe, systemu przenoszenia i przekazywania próbek, systemu obserwacji D, systemu gazowego, sterowania elektrycznego i sterowania komputerowego. systemy, systemy pomocnicze itp.

Popularne Tagi: systemy ultra wysokiej próżni